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China startet Serienfertigung eigener DUV-Lithographiesysteme

Erste ASML-Alternative für SMIC und CXMT entsteht

China macht einen weiteren Schritt auf dem Weg zur technologischen Unabhängigkeit von westlichen Halbleiterlieferanten. Einem Bericht zufolge hat das Unternehmen Shanghai Yuliangsheng Technology mit der begrenzten Serienfertigung eigener Immersions-DUV-Lithographiesysteme begonnen. Die ersten...