Thermometer in Miniaturform

Am Institut für Mikrostrukturtechnologie und Analytik (IMA) wurde das kleinste Thermometer der Welt entwickelt. Seinen Einsatz findet es in der Chipherstellung, dort kann es durch Fehler entstandene Temperaturunterschiede aufspüren und lokalisieren. Das Thermometer selbst ist kleiner als Tausendstel des Haardurchmessers. Es besteht aus einem Draht mit einer Durchmesser von 100nm, welcher die Form einer Schleife hat.

Die Vorgehensweise ist folgende: es wird das bekannte Verhalten des elektrischen Thermoschleifenwiderstandes
bei Temperaturveränderungen ausgenutzt. Eine zusätzliche Funktion bietet die Schleife in Form der Oberflächenanalyse, durch eine Wechselwirkung von Kräften kann die Topologie des Chips erfasst werden.
Durch das Erkennen der unterschiedlichen Temperaturen, mit einer Genauigkeit von einem Tausendstel Grad Celcius und Messpunkten im Abstand von einem Nanometer, können „heiße Stellen“ aufgespürt werden. Somit ist die Fehlererkennung auf einem Chip um ein vielfaches einfacher.

Quelle: Golem