Bald Blauer Engel auf einer CPU?

Umweltschonendes Verfahren bei Prozessorherstellung

2. April 2001, 21:30 von

Die Überschrift ist bitte nicht wörtlich zu nehmen, aber Wissenschaftler vom „US Department of Energy’s Los Alamos Laboratory“ haben in Zusammenarbeit mit Hewlett-Packard eine sehr umweltschonende Herstellung von Prozessoren entwickelt. Bei den verschiedenen Prozessen vom reinen Silizium zur CPU wird eine Unmenge an Wasser und ätzender Flüssigkeit benötigt. Zwischen den einzelnen Vorgängen, die nötig sind, um einen Transistor im Wafer herzustellen, muss dieser oft gereinigt werden. Dazu sind bisher ätzende Lösungsmittel verwendet worden.

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Das neue Verfahren, welches SCORR genannt wird, soll fast ausschließlich mit Kohlendioxyd arbeiten und somit keine Umweltschäden hervorrufen. Da es in einem geschlossenen System eingesetzt wird, trägt es auch nicht zum Treibhauseffekt bei. Das Kohlendioxyd wird unter hohem Druck, hoher Temperatur und unter sehr geringer Zugabe eines Lösungsmittels auf den Wafer gebracht. Unter den oben genannten Umständen ist das Gemisch flüssig und kann so den Wafer reinigen.

Quelle: Beyond 2000

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